סיליציום אַקסייד (SiO2) גרינדינג עקספּערימענט

Backgrounds: ערד דורך Tencan פּלאַנאַטערי פּילקע מיל מאַטשט מיט אַגאַט דזשאַרז און אַגאַט באַללס. נאָך 2 שעה פון גרינדינג, גראַנולאַראַטי פון פּראָדוקציע פּודער מיץ קונה ס בקשה.

אַפּפּליעד מאַשין: טענקאַן ווערטיקאַל פּלאַנעטאַרי פּילקע מיל מאָדעל נאָ.קסקם-0.4

1. באַשרייַבונג
1) געווענדט פעלד: סיליציום מאַטעריאַל.
2) מאַטעריאַלס: סיליציום אַקסייד.
3) פיטער גרייס: 1-5 מם
4) קוואַנטיטי פון פיטער: 100 ג
5) פאַרמאָג פון מאַטעריאַל: שווער און קריספּי
6) קונה ס בקשה: אונטער 50μם.
7) סאַבסאַקוואַנט אַנאַליסיס: פּאַרטאַקאַל גרייס טעסט

2. סאַלושאַנז
1) עקוויפּמענט סעלעקציע: ווערטיקאַל פּלאַנעטאַרי פּילקע מיל מאָדעל קסקם-0.4
2) אַקסעסעריז: 50 מל אַגאַט דזשאַרז און 5-10 מם אַגאַט באַללס.
3) פליסנדיק פּאַראַמעטער באַשטעטיקן: ראָוטיישאַן גיכקייַט: 560 רפּם, positive און נעגאַטיוו קעגנצייַטיק אָפּעראַציע יעדער 30-מינוט פליסנדיק.
4) גרינדינג צייט: 2 שעה
5) גרינדינג רעזולטאַט: 100% ~ 50μם
6) מסקנא: פּלאַנאַטערי פּילקע מיל מאָדעל XQM-1 קענען ווערן גענוצט צו מאָלן סיליציום אַקסייד.



3. אַפּפּליקאַטיאָן פעלדער: סיליציום מאַטעריאַל פון זונ - צעל אינדוסטריע.